7月22日消息,国家知识产权局信息显示,沈阳富创精密设备股份有限公司申请一项名为“一种适用于半导体行业的真空矩形阀门”的专利,授权公告号CN115704505B,授权公告日为2026年7月21日。申请公布号为CN115704505A,申请号为CN202110918196.2,申请公布日期为2026年7月21日,申请日期为2021年8月11日,发明人李加平、姜小蛟,专利代理机构沈阳中科博诚专利代理事务所(特殊普通合伙),专利代理师崔红梅,分类号F16K31/163、F16K3/02、F16K3/30、F16K31/524。
专利摘要显示,本发明公开了一种适用于半导体行业的真空矩形阀门,包括阀门固定机构、气缸组件及设置件、导向组件、升降组件和外置气路;所述阀门固定机构包括真空腔体、腔体连接板和固定座,所述真空腔体通过螺栓固定设置在腔体连接板的顶部,所述固定座固定设置在腔体连接板的底部。本发明通过选用标准气缸组件作为动力源,针对活塞杆不能承受径向冲击载荷的特点,设计辅助导向机构,通过将径向力传导至安装座,从而保护升降组件,本文通过设计阀门上升与关闭行程及凸轮槽,确保阀门在关闭时不会产生摩擦,且通过上升与关闭行程比保证在动作周期内的低振动性,从而大大降低了微小颗粒的产生。
富创精密是国内领先的半导体设备精密零部件核心供应商,2008年6月24日正式成立,2022年10月10日登陆上海证券交易所,注册及办公所在地均为辽宁省沈阳市。
公司是专注于7纳米工艺制程的半导体设备精密零部件制造商,申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备赛道,同时覆盖集成电路、半导体设备、半导体产业三大核心概念板块。
2025年公司实现营业收入35.43亿元,在26家同行业可比企业中排名第8,低于行业平均40.12亿元,大幅高于13.86亿元的行业中位数,同期行业内营收排名前两位的企业分别为北方华创(393.53亿元)、中微公司(123.85亿元)。营收结构方面,机械及机电零组件贡献收入23.97亿元,占比67.64%;气体传输系统实现收入11.06亿元,占比31.22%;其他补充业务收入4035.8万元,占比1.14%。盈利端,2025年公司净利润为-1644.74万元,行业排名23/26,远低于5.9亿元的行业平均水平与1.62亿元的行业中位数,同期行业净利润前两位企业分别为北方华创(54.09亿元)、中微公司(20.64亿元)。
- 指标类别
- 具体指标
- 富创精密数值
- 行业排名/总家数
- 行业头部企业数值
- 行业平均数
- 行业中位数
- 营业收入2025年营收35.43亿元8/26北方华创393.53亿元、中微公司123.85亿元40.12亿元13.86亿元
- 净利润2025年净利润-1644.74万元23/26北方华创54.09亿元、中微公司20.64亿元5.9亿元1.62亿元
- 营收构成机械及机电零组件23.97亿元,占比67.64%----
- 营收构成气体传输系统11.06亿元,占比31.22%----
- 营收构成其他(补充)4035.8万元,占比1.14%----
沈阳富创精密设备股份有限公司近期专利情况如下:
- 序号
- 专利名称
- 专利类型
- 法律状态
- 申请号
- 申请日期
- 公开(公告)号
- 公开(公告)日期
- 发明人
- 1一种集成电路用多层散热结构焊接系统及工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202610706014.82026-05-21CN122210164A2026-06-16刘佳
- 2一种集成电路用多层散热结构焊接检测方法发明专利授权CN202610707110.42026-05-21CN122237791B2026-07-21刘佳
- 3一种半导体设备超洁净抗磨损腔体阀及其渗氮处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610679089.12026-05-18CN122235631A2026-06-19常向鹏、李加平、辛洪旭、佟伟平
- 4一种半导体真空制程的晶圆传输设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610660339.72026-05-14CN122206223A2026-06-12何树鹏、叶寅、杨光辉、李加平、孙晓恒
- 5一种耐等离子体的阀板密封组件及其制备方法和应用发明专利授权CN202610479570.62026-04-13CN122014872B2026-07-17崔哲、叶寅、何树鹏、李加平、孙晓恒
- 6一种台阶孔加工无毛刺加工刀具实用新型授权CN202620342416.X2026-03-19CN224128677U2026-04-17刘佳、马超
- 7铝合金材料焊接定位夹具发明专利实质审查的生效、公布CN202511939618.92025-12-22CN121755988A2026-03-31韦宝权、刘佳
- 8匀气盘流道焊接防堵工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511939440.82025-12-22CN121755966A2026-03-31韦宝权、刘佳
- 9集成电路多层结构焊接定位工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511939315.72025-12-22CN121755816A2026-03-31韦宝权、刘佳
- 10旋转轴径向跳动检测工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511939014.42025-12-22CN121855368A2026-04-14刘佳、修晓岩
- 11集成电路部件尺寸精密测量仪发明专利实质审查的生效、公布CN202511939135.92025-12-22CN121953805A2026-05-01刘佳、修晓岩
- 12不锈钢零部件抛光工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511884170.52025-12-15CN121608046A2026-03-06徐宏岩、丛雪
- 13一种双零件产品自动定心治具及其工作方法发明专利公布CN202511874132.12025-12-12CN121670395A2026-03-17潘虹
- 14一种调整三坐标测针角度治具发明专利实质审查的生效、公布CN202511874099.22025-12-12CN121898220A2026-04-21马超、修晓岩
- 15一种磨粒流设备单出口转多出口通用分流工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511862845.62025-12-11CN121696863A2026-03-20马超、修晓岩
- 16一种细长出孔多孔的机外流体往复抛光装置及其工作方法发明专利公布CN202511862895.42025-12-11CN121821249A2026-04-10王新、石泽驰
- 17一种用于加工薄筋工位的非标成型刀具发明专利公布CN202511853502.32025-12-10CN121820711A2026-04-10杨健、吴鹏
- 18一种用于高精度异形水道加工的非标成型刀发明专利公布CN202511835304.42025-12-08CN121624511A2026-03-10李博
- 19一种用于制备高耐磨自润滑镀层的电镀方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511835860.12025-12-08CN121853134A2026-04-14王海同
- 20气体管道接头抛光工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511805493.02025-12-03CN121589702A2026-03-03李佳颖
- 21半导体设备零部件表面喷砂处理装置发明专利公布CN202511805370.72025-12-03CN121670538A2026-03-17徐宏岩、丛雪
- 22一种超洁净钢管切割断料分离装置发明专利公布CN202511795617.12025-12-02CN121649472A2026-03-13赵闯、袁毅军、俞强
- 23一种基于低共熔溶剂的镀镍方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511795751.12025-12-02CN121781236A2026-04-03王海同
- 24一种自动化机加设备的上下料处理装置及其处理方法发明专利公布CN202511795960.62025-12-02CN121799894A2026-04-07刘鑫、丛雪
- 25一种板式组合夹具发明专利实质审查的生效、公布CN202511758337.32025-11-27CN121315853A2026-01-13佟海龙
- 26一种拼装组合卡盘发明专利实质审查的生效、公布CN202511760201.62025-11-27CN121360831A2026-01-20佟海龙
- 27一种金属零件内腔痕量金属元素检测工装及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511708489.22025-11-20CN121324471A2026-01-13李士文、佟毅、郭昊
- 28一种用于加工燕尾密封槽的刀具组及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511709738.X2025-11-20CN121373499A2026-01-23牛月强、王立国、段永为
- 29一种锥孔直径检验量具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511710574.22025-11-20CN121498509A2026-02-10段永为
- 30一种碳纤维表面高结合力镀镍的方法及其专用活化液发明专利公布CN202511709432.42025-11-20CN121556010A2026-02-24王海同
- 31一种铝合金小变形和高强度的固相扩散焊方法发明专利授权CN202511698271.32025-11-19CN121156471B2026-03-03李鹏、李金超、李天宇
- 32一种用于弓形零件的弹性压紧排列电抛治具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511685903.22025-11-18CN121321200A2026-01-13王新
- 33一种轴套类工件双夹持上下料装置及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511663144.X2025-11-13CN121292106A2026-01-09赵闯、房吉晨、尹玉
- 34一种超洁净钢管弯管工装及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511643096.82025-11-11CN121244744A2026-01-02赵闯、袁毅军
- 35一种梯形多用非标刀具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511633652.32025-11-10CN121289563A2026-01-09吴鹏、杨健
- 36一种超洁净钢管自动出料装置及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511623771.02025-11-07CN121292099A2026-01-09赵闯、袁毅军
- 37一种攻丝油自动加注机构及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511612570.02025-11-06CN121289619A2026-01-09牛月强、王新、张硕
- 38一种用于圆环类零件焊接的自动校形治具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511600556.92025-11-04CN121267519A2026-01-06陈国贤
- 39一种通气基座孔内电解抛光批量上挂治具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511598529.22025-11-04CN121363038A2026-01-20宋秋风、佟毅、石皓元
- 40一种用于不规则半导体零件清洗的清洗框及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511600516.42025-11-04CN121372933A2026-01-23陈国贤
- 41一种用于基座环焊接的定位夹持装置及其工作方法发明专利公布CN202511570531.92025-10-30CN121017770A2025-11-28王新、牛月强、韩立营
- 42一种调整固定式测座三坐标角度辅助工装发明专利授权CN202511568117.42025-10-30CN121026040B2026-02-24马超、修晓岩
- 43一种用于带有空腔的铝合金闭合结构焊接后精密加工的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511495569.42025-10-20CN121289960A2026-01-09孙德钰、武国威、李先哲、杨秋才
- 44一种气体歧管块的电解抛光装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511496191.X2025-10-20CN121321198A2026-01-13王新
- 45一种用于连接高真空管路的二段式真空角阀发明专利实质审查的生效、公布CN202511496544.62025-10-20CN121382930A2026-01-23赵子旭、李加平、辛洪旭、孙晓恒、闫鹤馨
- 46一种带有气道的焊接产品真空钎焊方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511488552.62025-10-17CN121267288A2026-01-06石戴延、韦宝权、祝影
- 47一种内孔刀检测机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511488889.72025-10-17CN121374280A2026-01-23牛月强、王新、段永为
- 48一种用于三坐标检测的定心虎钳快速定位工装底座发明专利实质审查的生效、公布CN202511479752.52025-10-16CN121403267A2026-01-27马超、刘佳、刘宇航
- 49一种氟橡胶表面高结合力金属化的方法及其专用活化处理液发明专利实质审查的生效、公布CN202511480176.62025-10-16CN121451164A2026-02-03王海同
- 50一种六爪通用扇形自适应夹具发明专利实质审查的生效、公布CN202511450324.X2025-10-11CN121360830A2026-01-20王新、王尧、牛月强、韩立营









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